電子化學品過濾解決方案
微電子行業(yè)應(yīng)用的超凈高純試劑,國際上通稱工藝化學品(process chemicals),美國、歐洲和我國臺灣地區(qū)稱為濕化學品(wetchemicals),是電子技術(shù)微細加工制作過程中不可缺少的化工材料之一。用于芯片的清洗和蝕刻,其潔凈度和純度對集成電路的成品率、電性能及可靠性影響重大,主要控制試劑中顆粒和離子的含量。邁博瑞使用先進的設(shè)備工藝,對過濾產(chǎn)品進行嚴格的潔凈度的管控,低析出,低金屬離子產(chǎn)品,為半導體行業(yè)的穩(wěn)定、安全、可靠生產(chǎn)提供了幫助。
電子化學品過濾產(chǎn)品
制程工藝 | 邁博瑞推薦濾芯系列* |
特殊化學品過濾 | FluorPure-EV類全氟(FEV 系列)PVDF 外殼的疏水全氟濾芯 |
AfsPure全氟折疊(ACG 系列/AFG系列)超強化學兼容性的 PFA 全氟濾芯 | |
UltiPure 小胖全氟濾芯(Ø83 AF系列)高流速、高清潔度的全氟濾芯 | |
Wet-Fluoride系列全氟濾芯 半導體用全氟濾芯 | |
Wet-Fluoride系列全氟濾芯囊式 半導體用全氟囊式濾芯 | |
Wet-Vast系列 半導體用HDPE外殼的PTFE折疊過濾濾芯 | |
Wet-Mega系列 半導體用PP外殼的PTFE折疊過濾濾芯 |
*詳細的技術(shù)解決方案和產(chǎn)品系列信息,請聯(lián)系您身邊的MS銷售工程師