產(chǎn)品描述
邁博瑞CMPro-M系列深層熔噴濾芯由復(fù)合結(jié)構(gòu)的聚丙烯濾材制備而成，用于CMP slurry輸送系統(tǒng)（SDS）的過濾。其獨(dú)特的梯度設(shè)計(jì)使其能夠很好地應(yīng)對化學(xué)機(jī)械研磨（ chemical mechanical polishing，CMP）漿料過濾的挑戰(zhàn)。錐形孔結(jié)構(gòu)使CMPro-M在優(yōu)秀的顆粒攔截效率和高納污量之間實(shí)現(xiàn)了很好的平衡。它可以有效去除CMP slurry中具有破壞性的大顆粒，并且保持過濾前后有效顆粒粒徑分布（PSD）保持不變。CMPro-M可滿足多種不同的CMP應(yīng)用場景，包括氧化物CMP，淺溝槽隔離CMP 和金屬配線CMP等。
產(chǎn)品特點(diǎn)
-
梯度過濾結(jié)構(gòu)，確保濾芯的過濾效率
-
銳利的效率曲線，顯著提升尺寸過大顆粒的去除率，同時(shí)最大程度減少有效顆粒的去除
-
優(yōu)化使用壽命，降低成本
-
制造過程中不添加表面活性劑和粘結(jié)劑，減少析出
典型應(yīng)用
產(chǎn)品保證
工作特性
| 材 料 | 過濾層/支撐層 | 聚丙烯 |
| 中心桿/端蓋 | 聚丙烯 | |
| 密封圈 | EPDM | |
| 精度 | 3.0μm, 5.0μm, 7.0μm, 9.0μm, 11.0μm | |
| 尺寸規(guī)格 | 外徑 | 64mm |
| 長度 | 10inch, 20inch | |
| 最大使用條件 | 最大正向壓差 | 0.52 MPa (75 psi) @ 25 ?C (77 ?F) |
| 0.19 MPa (27 psi) @ 82 ?C (179 ?F) | ||
| 最大反向壓差 | 0.21 MPa (30 psi) @ 25 ?C (77 ?F) | |
| 最高使用溫度 | 80 ?C (176 ?F) | |
產(chǎn)品尺寸
流量-壓差曲線圖
訂購信息
|
CMPM |
Removal Ratings |
端蓋 |
直徑 |
長度 |
密封圈 |
Cleanliness |
包裝 |
|
030(3.0μm) 050 (5.0μm) 070 (7.0μm) 090 (9.0μm) 110 (11.0μm) |
N(222 Flat) F(Double open-end gasket)
|
6(直徑=64mm) |
10 (10”) 20 (20”)
|
P (EPDM) |
E（Electronic） |
D (Dry) W (UPW Prewet) |